Анализ существующих систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники, их основных возможностей и характеристик свидетельствует о необходимости разработки метода мультиэнергетической рентгенографии, позволяющего расширить возможности цифровой рентгенографии на изделия микроэлектроники с неоднородной структурой. Разработанный метод позволяет получить минимальный набор цифровых рентгеновских изображений изделия микроэлектроники с неоднородной структурой за счет обоснованного выбора команд источнику рентгеновского излучения для запуска "рабочих" режимов экспозиции. Указанный набор изображений обеспечивает возможность проведения контроля дефектов изделия по результатам визуализации внутренней структуры всех его функциональных элементов с требуемым качеством.
Интенсивное развитие цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля открывает возможности по автоматизации этого процесса для разрабатываемых и производимых изделий микроэлектроники с неоднородной структурой. В работе предложена классификация цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля по следующим критериям: способ формирования рентгеновского изображения, тип детектора, способ считывания рентгеновского изображения с детектора. Проведен анализ цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники и определены системы, наиболее восприимчивые к автоматизации.
1 - 2 из 2 результатов